En küçük partikül çaplarına sahip kirleticilerin istenen verimlilikte filtrelenmesi için kullanılan filtreler EPA, HEPA ve ULPA olarak isimlendirilen filtre sınıflarındadır.
Kaba ve ince filtreler ile yakalanamayacak özellikte olan bu düşük partikül çaplı kirleticiler (virüs, bakteri, ilaç tozları gibi) başta ilaç, gıda, tıp, mikro elektronik, biyoteknoloji, nükleer tesisler gibi çok çeşitli endüstriyel uygulamalarda şartlandırma havasının ve/veya egzoz havasının yüksek oranda kirleticilerden arındırılmasında kullanılır. Yüksek verimli filtreleme ile amaçlanan kimi zaman çevreyi kimi zaman prosesi kimi zaman da personeli korumaktır.